在半導體晶圓制造中,濕法刻蝕、超純水制備、PTFE濾膜生產等工藝環節,過濾系統是保障良率的最后一道防線。隨著制程向7nm、5nm及更先進節點推進,過濾元件需要同時滿足三個硬性條件:極薄厚度、超高平整度、超低金屬離子析出。任何一個指標不達標,都可能引入顆粒污染或化學雜質,直接導致整批晶圓報廢。

然而,作為過濾芯核心支撐層的傳統PFA編織網,卻因自身工藝瓶頸越來越難以跟上需求。
傳統編織網用經緯絲線交織而成,這種結構帶來三個固有問題。第一,編織工藝將厚度限制在0.2mm以上,無法滿足高端行業對薄型化的迫切需求。第二,絲線交叉點處厚度疊加,導致表面不平整、厚度不均一,直接影響濾芯打褶面積和過濾效率。第三,交叉結構占用了有效過濾面積,且金屬離子析出控制難以達到ppb級的半導體級標準,長期化學穩定性也存在挑戰。
這些痛點在氟化工等強腐蝕性介質環境中被進一步放大——材料不僅需要耐化學腐蝕,還必須杜絕因自身降解導致的二次污染。
大連義邦DEXMET延展網給出了不同的技術路線。DEXMET自1948年起專注精密延展網研發生產,其PFA延展網不采用編織工藝,而是通過精密延展工藝,將高純度PFA材料均勻拉伸成型。延展結構的本質區別在于——沒有絲線交叉。
沒有交叉點,意味著三個關鍵優勢同時成立。
0.1mm極薄厚度。延展工藝可穩定生產厚度至0.1mm的PFA網材,比傳統編織網的最薄極限再降一半。更薄的支撐層意味著更小的流阻和更高的通量,在不增加濾芯體積的前提下有效提升過濾效率。
厚度均一,表面高平整。延展網表面無交叉點疊加,厚度在整張網面上保持均一。對于折疊式濾芯而言,這一特性直接轉化為更大的有效打褶面積和更均勻的流量分布,延長濾芯使用壽命。傳統編織網因局部過厚,打褶時容易產生應力集中和流量死角,而延展網從根本上消除了這個問題。
半導體級金屬離子控制。DEXMET選用高純度原材料,嚴格控制全流程生產環境,確保金屬離子析出率符合半導體行業對純凈度的嚴苛要求,為終端客戶提供可追溯的批次質量保障。
在強腐蝕性介質環境中,PFA材料本身具備優異的化學惰性,而延展工藝賦予了網材良好的機械強度,兩者結合確保了材料在氟化工等極端工況下不會因降解而產生二次污染。

目前,DEXMET 0.1mm超薄PFA延展網已在多家國內行業領軍企業的實驗室中完成多輪初步驗證。測試數據一致證實,該材料在極薄厚度下的均勻性、機械強度及化學惰性均表現優異,完全滿足高端過濾工藝的苛刻要求。
除半導體晶圓制造和濕法刻蝕外,該材料同樣適用于超純水制備、PTFE濾膜生產支撐、氟材料合成過濾、生物制藥除菌及細胞培養液過濾等場景。
大連義邦是美國DEXMET的中國獨家代理,提供從選型咨詢到樣品測試的全流程技術支持。如需了解更多產品技術參數或獲取測試樣品,請聯系13130080576。

+86-412-6330396(銷售)
+86-412-6322505(售后)



